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2、计量单位 采用国家法定计量单...
基于印刷线路板技术的复合气体探测器
作者： 鲁彦霞 ; 赵修良 ; 张泊丽 ; 刘丽艳
摘要：将当前先进的PCB加工技术用于制作微条气体探测器（MSGC），并结合微电子加工技术制作电子倍增器（GEM），可以制作性能优越价格低廉的复合式位置灵敏探测器。论文从气体探测器工作原理出发，分析了各种类型气体探测器的优缺点，并根据当前国内的微电子加工技术，设计制作了MS．GC＋GEM复合式气体探测器。随着PCB精加工技术的进步，性能更优越可靠、更易加工的气体探测器很快将问世。
关键字： 气体探测器 微条气体探测器 电子倍增器
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