α粒子擦拭物检测仪探测系统的改进
作者: 谢群芳 [1] ; 方方 [1] ; 成毅 [1] ; 李兵 [1] ; 谢勇 [2]
摘要:针对现有α探测系统存在的不足之处,提出了改进方案,改进了探测器的定位结构,提出了样本的悬空定位方式,可实现对样本的全方位探测。并且在Pro/E环境下建立实体模型,设计出布局紧凑、加工方便的系统结构。通过试验表明在改进的结构下,有效提高了系统的探测效率。
关键字: α粒子 探测系统 金硅面垒探测器 结构改进
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