期刊简介
投稿须知
1、文稿 来稿内容务必真实可靠，具有严谨的科学性和知识或技术的先进性。论点明确，数据可靠，文字简练。文章首页页脚处注明:课题资助项目名称(编号)和第一作者简介[姓名（出生年月-）、性别、民族、籍贯、职称、学位、研究方向]。稿件规格为A4纸，正文用 5号宋体。投稿请使用电子邮件附件的形式。投稿时请注明作者的电话、 E-mail、地址及邮编等联系方式。
2、计量单位 采用国家法定计量单...
使用背散射与二次离子质谱方法分析类金刚石厚样品中的杂质
作者： 郭猜 ; 郑涛 ; 刘坤 ; 杨江燕 ; 田继挺 ; 聂锐 ; 马宏骥 ; 丁富荣
摘要：卢瑟福背散射分析是测定薄膜或镀层成分和厚度的成熟手段，但在分析含多种微量元素成分的厚样品时，精确测定样品中多种元素的分布是比较困难的。二次离子质谱对样品表面成分有较高的质量分辨能力，可以作为对卢瑟福背散射分析的补充。在北京大学2×1．7 MV串列静电加速器终端上，结合使用这两种分析方法，分析了类金刚石厚样品中的金属元素杂质。
关键字： 卢瑟福背散射 二次离子质谱 类金刚石薄膜