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2、计量单位 采用国家法定计量单...
核辐射探测器金刚石膜制备技术研究
作者： 童恒义 [1,2] ; 汪渊 [1] ; 周长庚 [2] ; 邱瑞 [2]
摘要：根据核辐射探测器的要求,研究了不同处理方式下的基片对金刚石膜质量的影响以及气源中不同甲烷浓度对金刚石膜质量的影响。采用微波等离子体化学气相沉积法在Si（100）基片上制备出了金刚石薄膜,并通过扫描电子显微镜、X射线衍射和激光Raman光谱分别对金刚石膜的表面及截面形貌、晶体取向和纯度进行分析。实验结果表明：用金刚石粉研磨基片有利于金刚石膜沉积;甲烷浓度过高或过低都不利于制备高质量的金刚石膜;当CH4/H2为1.4/400时制备的金刚石薄膜（111）晶面择优取向最好。根据研究所获得的对金刚石薄膜质量影响规律,制备了达到辐射探测器质量要求的金刚石膜。
关键字： 金刚石膜 MPCVD 甲烷浓度 基片预处理 核辐射探测器