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2、计量单位 采用国家法定计量单...
小电流校准检定系统建立及不确定度评定
作者： 于丽娟 ; 韩光 ; 李宪优 ; 王玲 ; 魏学荣
摘要： 小电流测量仪器在航空航天测控、半导体集成电路测试、核试验测试及其他研究领域中应用较多,并且发挥着很重要的作用。由于小电流测量仪器精度高,分辨率达到f A级,小电流测量仪器的校准、检定就显得尤为困难。本文论述了利用Keithley的5156精密高阻和Fluke5520A多功能源组成的小电流测量仪校准、检定系统。针对该校准系统,分析了校准过程的不确定度来源,依据相关标准进行了不确定度评定,结果证明组建的小电流测量仪校准系统是可靠的。该系统完全可以满足各种小电流测量仪的校准、检定工作。
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