"探测器级"单晶金刚石材料生长技术研究进展
作者: 王勇 刘林月 李东双
摘要:为了获得高性能单晶金刚石探测器,综述了一种制备高质量单晶金刚石的方法.在制备过程中,尝试使用了Lift-off剥离技术,使衬底可重复利用,大大降低了金刚石材料的成本.研究表明,通过该方法制备的金刚石材料质量优于商用"电子器件级"金刚石;利用该类材料制作的金刚石探测器性能优异:对14 MeV中子和5.486 MeV α 粒子的能量分辨率分别达到1.5%和0.3%,电荷收集效率接近100%.
关键字: MPCVD HPHT 金刚石探测器 Ⅱa型衬底 lift-off off-axis
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