作者： 赵越 [1] ; 屈国普 [1] ; 郑贤利 [1] ; 黄云 [1]
摘要： 论述了透射式特征X射线测厚原理,并对样机的硬件组成特征X射线发生装置、X射线探测器、数据处理器和监控软件进行了介绍。通过对测厚样机的实验测试,结果显示测量较薄物质时测厚仪反应灵敏,测量精度较高,相对误差在±5%以内,达到设计要求。
关键字： 特征X射线 数据处理器 监控软件 性能分析 characteristic X-ray data processo
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